PET/PVA二層フィルム「SOシート」
SOシートは、PVAとPETを二層化したフィルムです。PVA層上に各種印刷、コーティング等により作製した機能性パターン（レジスト、金属、機能性樹脂等) の転写基材として活用できます。PETとの組合せにより、PVA単体のフィルムよりも寸法安定性が増し、困難であった微細構造の形状維持が可能となりました。3次元リソグラフィ、犠牲層・自立膜の取り出し、工程内の一時保護などの「水に溶ける」プロセスシートとしての応用が期待されています。
SOシートの特長
■ 剥離可能な二層構造
水溶性層と支持層の分離が可能
PET/PVA間剥離強さ approx. 100 mN / 20 mm
■ 高透明・高平滑
PVA層光線透過率 D線, g線, i線 90 ％以上
PVA層の表面粗さ Sa：approx. 15 nｍ
■ 水溶性・耐薬品性
アセトン、PGME等の有機溶媒による浸食なし
■ 湿度の影響に依らない高い寸法安定性
水溶性層と支持層の分離が可能
PET/PVA間剥離強さ approx. 100 mN / 20 mm
■ 高透明・高平滑
PVA層光線透過率 D線, g線, i線 90 ％以上
PVA層の表面粗さ Sa：approx. 15 nｍ
■ 水溶性・耐薬品性
アセトン、PGME等の有機溶媒による浸食なし
■ 湿度の影響に依らない高い寸法安定性
SOシートの工法例（塗工・転写・機能膜取り出し）
機能性膜・パターンの塗工
PVA上にフォトレジスト、導電性ポリマー、UV/熱硬化性樹脂、機能性ポリマー、PDMS、CNT、金属インキ、金属薄膜等の膜形成が可能です。
平面/立体面への機能性膜・パターンの転写
※基材と塗工物の密着性は、塗工物と基材表面との相性に依存。
プライマーをコーティングし密着性を担保する場合は、100ｍN/20㎜以上が好ましい。
プライマーをコーティングし密着性を担保する場合は、100ｍN/20㎜以上が好ましい。
PVAの水洗（機能性膜・パターンの転写/自立薄膜の取り出し）
ハンドリングの難しい薄膜をSOシートに形成した上に、さらに材料を積層し水洗取り出しすることも可能です。薄膜デバイスを作製する基材としての使用も期待できます。
SOシートの工法例（基材の一時保護）
SOシートの応用例
「SOシート」を利用した自立薄膜の作成
自立薄膜作成例
「SOシート」を利用した三次元パターニングへの応用【特許出願技術】
SOシートで可能となる立体のリソグラフィ
【精密エンコーダー金属スケール用金型】
ロボットの指関節に入る小型モータの精密位置決め用金属スケール
【凹型金型への微細加工】
凹球面に金型に形成した光散乱用50μmピッチ硬質ピラー（約91万個をリソグラフィとめっき合計2時間で形成）
【平凸Siレンズへの微細加工】
Φ25mm Si凸レンズに4μmピッチL/S溝加工
【V溝へのパターン転写】
深さ15μmのV溝に転写したピッチ1.6μmのライン&スペース
【金属ロールへの抗菌パターン作製
およびフィルムへの転写】
およびフィルムへの転写】
金属ロールに生物模倣パターン(シャークスキン)を微細加工し、プラスチックフィルムに加圧転写
想定分野
プリンテッドエレクトロニクス、積層デバイス・基板、後工程プロセス等の製造プロセスへの応用が期待できます。
水に溶けるをキーワードとしたアイデアの工業化実現に向けて、SOシートがお手伝い致します。
- レジストや金属等の機能性パターン、絶縁・封止等の薄膜の転写基材として
- ダミー基板との仮固定に
- 水で除去可能な一時保護に
- 3次元リソグラフィ、犠牲層、自立膜・薄膜の取り出しに
- 機械部品、電子材料等への生物模倣パターン等の微細加工に
水に溶けるをキーワードとしたアイデアの工業化実現に向けて、SOシートがお手伝い致します。
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